四探針電阻率/方阻測(cè)試儀的分類(lèi)介紹
發(fā)布時(shí)間： 2022-08-04 15:02:32 點(diǎn)擊： 1568
四探針電阻率/方阻測(cè)試儀的分類(lèi)介紹
在半導(dǎo)體等新型應(yīng)用材料行業(yè)中，四探針測(cè)試儀是不陌生的，幾乎是必備檢測(cè)手段，比如硅片晶圓，二代，三代芯片應(yīng)用的半導(dǎo)體材料；半導(dǎo)體材料是個(gè)統(tǒng)稱(chēng)，還有其他類(lèi)型的根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景不同而備制方式也不同，比如：涂層類(lèi)，薄膜類(lèi)及導(dǎo)體與絕緣材料的添加備制等新材料都屬于半導(dǎo)體性質(zhì)，這些材料質(zhì)量的檢測(cè)都離不開(kāi)四探針?lè)椒ǖ乃奶结槣y(cè)試儀來(lái)測(cè)量.
一.四探針測(cè)量方法分類(lèi)
四探針電阻率/方阻測(cè)試儀一般來(lái)說(shuō)所有的四探針測(cè)試儀方法都不一定相同，不同方法對(duì)測(cè)量準(zhǔn)確性及精度影響比較大的，常見(jiàn)的有單一計(jì)算方法和組合計(jì)算測(cè)量方法；組合方法更加優(yōu)在準(zhǔn)確性和重復(fù)性.特別是應(yīng)用于高要求的晶圓類(lèi)產(chǎn)品的測(cè)量時(shí)突出表現(xiàn).
二.四探針測(cè)試儀自動(dòng)化程度來(lái)分類(lèi)
四探針電阻率/方阻測(cè)試儀大體分類(lèi)為，全自動(dòng)類(lèi)型和半自動(dòng)類(lèi)型；全自動(dòng)類(lèi)型成本高，精度和穩(wěn)定性要求也高，如全自動(dòng)四探針測(cè)試儀一般采用MAP地圖圖譜方式來(lái)描述整體樣品均勻性及方阻和電阻率數(shù)據(jù)，也就是應(yīng)用2D和3D 圖.
而半自動(dòng)類(lèi)設(shè)備，里面也分類(lèi)為簡(jiǎn)易的數(shù)據(jù)顯示結(jié)果，和半人工配合操控的類(lèi)型數(shù)據(jù)量更加豐富些，
三.四探針電阻率/方阻測(cè)試儀按照便捷性劃分為手持式和臺(tái)式機(jī)型，比如需隨身攜帶的手持四探針測(cè)試儀就是便捷用途；
四.在依據(jù)不同的測(cè)試條件下也可以做劃分：比如常溫下使用的，及高溫四探針測(cè)試等
