四探針測試儀在半導體行業的應用
發布時間： 2021-04-16 10:57:24 點擊： 1724
四探針測試儀在半導體行業的應用
材料分類：
目前我們比較熟悉的薄膜半導體材料主要有以下這些：根據材料本身的用途和性質劃分
覆蓋膜;導電高分子膜，高、低溫電熱膜;
隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;
金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;
導電薄膜（ITO導電膜玻璃等），金屬膜，導電漆膜，蒸發鋁膜，PCB銅箔膜，EMI涂層等物質的薄層
四探針測試儀材料特點：
測試方法：
目前采用4探針法來測薄膜材料的電導率性質，這是比較認可且成熟的測試方法；
1.將儀器開啟，并用標準電阻法校準儀器，確定儀器是否正常.
2.設定好薄膜的厚度，探針間距、電壓根據需要選擇高，中，低檔位；選擇探頭形狀；方形還是直線形探針.
3.確定好后，連接好測試探頭，通過上下微調節探頭平臺，使探針與樣品接觸，
4.待數據穩定后讀取數據，方阻值，電阻率，電導率數據.
5.測試完畢后，清理并整理儀器恢復開啟前狀態.
6.下圖FT-341 四探針測試儀結構說明，
材料分類：
目前我們比較熟悉的薄膜半導體材料主要有以下這些：根據材料本身的用途和性質劃分
覆蓋膜;導電高分子膜，高、低溫電熱膜;
隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;
金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;
導電薄膜（ITO導電膜玻璃等），金屬膜，導電漆膜，蒸發鋁膜，PCB銅箔膜，EMI涂層等物質的薄層
四探針測試儀材料特點：
靠電子和空穴兩種載流子實現導電，室溫時電阻率一般在10-5～107歐·米之間。通常電阻率隨溫度升高而變化；若摻入活性雜質或用光、射線輻照，可使其電阻率有幾個數量級的變化
測試方法：
目前采用4探針法來測薄膜材料的電導率性質，這是比較認可且成熟的測試方法；
與傳統的四端法相比，四探針法解決了測試過程中存在的接觸電阻問題，也就是說，四根探針同時接觸于樣品表面對樣品進行電流和電壓激勵測試；消除接觸電阻，是一種進步的測試方法，應用于半導體行業比較多.
1.將儀器開啟，并用標準電阻法校準儀器，確定儀器是否正常.
2.設定好薄膜的厚度，探針間距、電壓根據需要選擇高，中，低檔位；選擇探頭形狀；方形還是直線形探針.
3.確定好后，連接好測試探頭，通過上下微調節探頭平臺，使探針與樣品接觸，
4.待數據穩定后讀取數據，方阻值，電阻率，電導率數據.
5.測試完畢后，清理并整理儀器恢復開啟前狀態.
6.下圖FT-341 四探針測試儀結構說明，
配合PC軟件分析數據
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